Меры профильные ПРО-10

Профильные меры ПРО-10, предназначены для передачи размера единицы длины при измерении параметров шероховатости Ra, Rz, R и RSm в диапазоне от 10^-8 до 10^-4 м. В отличие от описанных выше образцов шероховатости сравнения, которые служат для визуальной оценки шероховатости полученной различными способами обработки, профильные меры ПРО-10 используются для поверки (калибровки) профилометров и других приборов, в том числе оптических, электронных и других микроскопов. Меры ПРО-10 внесены в Госреестр и признаны годными к применению по 2-му разряду.

Меры представляют собой кремниевые пластинки с периодическими линейными неровностями трапецеидального профиля, выполненные методом масочного травления и вклеенные в массивное основание. Меры поставляются отдельно или наборами с параметрами по количеству поддиапазонов измерения поверяемого средства измерений.

Поверка мер осуществляется в соответствии с документом «Меры профильные ПРО-10. Методика поверки», утвержденным ГЦИ СИ ФГУП «ВНИИМС». Средство поверки - прибор для измерения текстуры поверхности 1го разряда серии Form Talysurf, фирмы Taylor Hobson, производства Великобритании.

Нормативные и технические документы, устанавливающие требования к мерам профильным ПРО-10

• ГОСТ 8.296-2011 «ГСИ. Государственный первичный специальный эталон и государственная поверочная схема для средств измерений параметров шероховатости Rmax, Rz и Ra в диапазоне 0,025...3000 мкм»
• МИ 2060-90 «ГСИ. Государственная поверочная схема для средств измерений длины в диапазоне 1*10-6 ...50м и длин волн в диапазоне 0,2 ... 50мкм»
• ТУ 3932-004-70281271-2011 «Меры профильные ПРО-10. Технические условия»